赛默飞SEMICON新品首发，助力我国半导体事业发展

□ 赛默飞 供稿

3月21日，科学服务领域的世界领导者赛默飞世尔科技(以下简称“赛默飞”)亮相于上海举办的SEMICON CHINA 2019展会，并在现场发布展示了其最新一代的产品及半导体综合解决方案，新品致力于提高工厂及分析实验室效率，进一步助力中国半导体事业的发展。

2014年6月，《国家集成电路产业发展推进纲要》正式发布，我国的半导体行业拉开了高速发展的序幕。近年来，应用可编程芯片(FPGA)、人工智能云端以及边缘运算端芯片等一系列前沿技术的半导体新产品开发正如火如荼地进行——半导体产业的技术节点也在不断提高，如何实现更先进的制程工艺、更高的良率、更大的产能已成为半导体行业迫切需要面对和解决的问题。

为了满足我国快速增长的市场需求，赛默飞中国现有8家工厂分别在上海、北京、苏州和广州等地运营，并在全国设立了7家应用开发中心及示范实验室，将世界级的前沿技术和产品带给我国用户，同时提供应用开发与培训等多项服务。赛默飞位于上海的中国创新中心结合我国市场需求和国外先进技术，不断研发适合我国的技术和产品，为全国用户提供服务。赛默飞中国区总裁艾礼德(Tony Acciarito)表示：“新兴技术市场趋势以及政策支持正为中国半导体和电子科技产业带来前所未有的机遇，秉持‘扎根中国、服务中国’的发展战略，我们期待利用自身在半导体行业的丰富经验及优势，携手本土合作伙伴共同推动中国半导体产业的发展和创新。”

此次SEMICON CHINA 2019上，赛默飞从多个维度综合展现了其在实验室方案、失效分析、环境分析与生产支持方面的综合能力及一体化解决方案。其中，以Thermo Scientific™ Helios 5为代表的一众新品也通过SEMICON CHINA 2019这一平台首次在我国与业界的朋友们见面。

Thermo Scientific™ Helios 5

赛默飞首发推出最新一代Thermo Scientific™ Helios 5，这款全新的先进的小型聚焦离子束扫描电子显微镜适用于纳米材料的表征和分析。Helios 5产品系列的发布解决了目前越来越多的半导体技术挑战，包括更小的几何形状、3D结构、新材料和大量的分析样品以提高产量和根本原因分析。随着半导体产业从7nm技术节点转向5nm技术节点，Helios 5 TEM和Atom Probe样品制备软件能提高对先进的原子级结构和成分信息的获得能力，它可以在纳米尺度上实现更高质量的表面和3D信息，从而精确地定位感兴趣的区域。

Thermo Scientific™ ELITE™ 系统

在半导体工业已经普遍使用ELITE(Enhanced Lock In Thermal Emission)实现电性失效分析定位的背景下，赛默飞研发出具有极佳灵敏度的ELITE系统用以弥补传统EMMI/OBIRCH检测的不足。ELITE还可以作为非破坏性检测，能对封装后的元件分析其失效点的位置深度。除先进制程和封装的需求之外，针对功率元件在车用电子方面的应用，ELITE还支持高电压的测试。

Thermo Scientific™ Nicolet™系列光谱仪

此次展会，赛默飞带来了其Nicolet旗下的两款由尖端技术精心打造的光谱仪——Thermo Scientific™ Nicolet™ iG50 FT-IR与Thermo Scientific™ Nicolet™ iN10。iS50/iG50系列硅片分析系统为硅片的研究或大规模制造的质量控制提供了灵活强大的解决方案，Nicolet iS50/iG50系列硅片分析系统主要应用于氧、碳含量分析以及外延层(EPI)厚度测量。除此之外，iS50/iG50还可以应用于钝化层分析，例如PSG、BSG、PBSG中PB含量、Si中H的含量测定以及FSG。iN10是一种直观、创新、集成的一体化傅里叶变换显微红外光谱仪，具有安装简便、性能卓越、光谱质量高的特点。Nicolet iN10显微红外光谱仪在半导体微电子领域主要应用于固化胶的固化率测定、电子材料的分析与表征、显示材料的剖析与表征以及异物分析。

Thermo Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS

如今，ICP-MS的应用领域已经延展至十余个相关行业，包括环境样品分析，如自来水、地表水、地下水、海水以及各种土壤、污泥、废弃物等的分析;半导体行业的各种材料、试剂的痕量污染物分析领域，如高纯试剂(强酸、强碱、尤其是有机试剂)，高纯金属(电极等)，Si、CaAs晶片的超痕量杂质，光刻胶和清洗剂等高基体不稳定样品;食品分析领域，如卫生防疫、商检、烟酒食品的质量控制，鉴别真伪等;生物、医药、临床等研究领域，如头发、血样、尿样、生物组织的分析以及蛋白质、酶等的生物机理研究，药品质量控制等。

此次赛默飞带来的支持三重四极杆技术的Scientific™ iCAP™ TQs ICP-MS是一种高性能ICP-MS，适用于与半导体行业相关的多种挑战性基质中进行痕量元素、超痕量定量检测。在不牺牲灵敏、易用的工作台仪器所具备的检测能力的前提下，还具有三重四极杆技术出色的去干扰能力，可更好地对各种较具挑战性的基质中的元素杂质进行检测。由于iCAP TQs ICP-MS占地面积小，加之具有简化的工作流程并支持自动化方法开发而特别易于使用，其成为用于确保关键生产工艺一致性和提高半导体硅片加工产量而进行在线质量控制的理想检查工具。

Thermo Scientific™ Phenom™ ProX

2016年，赛默飞收购了电镜公司FEI，其提供的Apreo扫描电镜采用创新的复合透镜设计，结合了静电和磁浸没技术，可以产生前所未有的高分辨率和信号选择，这使Apreo扫描电镜成为研究纳米颗粒、催化剂、粉末和纳米元件的理想平台，且不会影响磁性样品性能。2017年底，赛默飞收购了台式扫描电镜公司Phenom-World，并将其业务融入旗下的分析仪器部门。如今，除Phenom Pharos台式扫描电镜外，赛默飞还提供Phenom XL台式扫描电镜和Phenom ProX台式扫描电镜等产品。Thermo Fisher Scientific飞纳台式扫描电镜是半导体行业中高效的检测分析仪器，主要用于工业质量控制、缺陷分析和产品研发，其可以选配飞纳自动倾斜旋转样品杯或中心样品杯观察半导体样品。通过倾斜旋转样品，该设备能够展现独特的3D图像，分析样品上的隐藏特征，帮助用户把控产品质量。

“我们很高兴通过新的Phenom Pharos显微镜将场发射枪的优势带到台式扫描电镜中，”赛默飞材料科学副总裁Trisha Rice如是说，“Phenom Pharos仪器将场发射电子源的高分辨率功能带给更广泛的研究人员。如今，我们为用户提供一系列完整的扫描电镜，从台式仪器到高端型号，让他们能够始终处于探索的前沿。”

赛默飞进入中国发展已超过35年，在中国的总部设于上海，并在北京、广州、香港、成都、沈阳、西安、南京、武汉、昆明等地设立了分公司，产品主要包括分析仪器、实验室设备、试剂、耗材和软件等，提供实验室综合解决方案，为各行各业的用户服务。作为科学服务领域的世界领导者，赛默飞的使命是帮助用户让世界更健康、更清洁、更安全，加速用户在生命科学领域的研究以及解决他们在分析领域所遇到的复杂问题与挑战，提高实验室生产力。展会现场，赛默飞展示了ELITE的实体机器并进行了DEMO演示，吸引了大批专业及相关人士的驻足了解与问询。数量众多的同行以及访客在展台现场聆听了现场工程师讲解赛默飞在半导体行业的综合解决方案，并共同分享探讨了半导体行业内的前沿技术与最新市场动态。